In this paper the analysis of a MEMS vibrating gyroscope model is presented. The FEM analysis of the 3D structure has been performed in COMSOL Multiphysics software. Author took particular attention on mechanical properties particular parts of this device especially combs (used in electrostatical actuators and sensors) in drive and sense directions. For further electrostatic analysis (which is not covered in this article) this analysis has enormous meaning because any deformation of comb structure during operation influences on quality of electrostatic actuating and sensing. In this paper author performed stress results and deformation analysis in sense direction, however similar conclusions one can be drawn for drive direction.
Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies
Informacja
SZANOWNI CZYTELNICY!
UPRZEJMIE INFORMUJEMY, ŻE BIBLIOTEKA FUNKCJONUJE W NASTĘPUJĄCYCH GODZINACH:
Wypożyczalnia i Czytelnia Główna: poniedziałek – piątek od 9.00 do 19.00