In order to enhance the long-term stability of DSA for copper electroplating process, in the present study, noble metal oxides
with excellent electrochemical properties was used and optimum condition was determined the ratio of noble metal oxides, surface
pre-treatment of titanium substrate and heat treatment. The effect of the surface pretreatment of titanium substrate and ratio of noble
metal oxides were estimated by accelerated test at the highly current density conditions. The lifetime of DSA increase six-fold
higher as the oxide thickness of Ta 7 : Ir 3 composition ratio. Under the optimal condition, surface pretreatment led to dramatic
increase in the lifetime of DSA.
Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies
Informacja
SZANOWNI CZYTELNICY!
UPRZEJMIE INFORMUJEMY, ŻE BIBLIOTEKA FUNKCJONUJE W NASTĘPUJĄCYCH GODZINACH:
Wypożyczalnia i Czytelnia Główna: poniedziałek – piątek od 9.00 do 19.00