Analysis of AE-signal generated during friction test of DLC-layers

In the present work the results of tribological and simultaneous AE measurements of the DLC layers deposited on Si substrate are presented. The layers studied were 18nm, 200nm and 650nm thick. The best properties were obtained for the films with thickness of 18nm and 650nm. The value of average friction coefficient was stable and equal to 0,1 and no wear was observed. The 200nm layer had a very low adhesion to the substrate. Intense acoustic emission signals accompanied the friction.

W pracy przedstawione zostały wyniki badań tribologicznych i równoczesnych pomiarów emisji akustycznej na warstwach DLC na podłożu Si. Badano warstwy o grubościach: 18nm, 200nm i 650nm. Najlepszymi właściwościami charakteryzowały się warstwy 18nm oraz 650nm. Współczynnik tarcia był stabilny i wynosił 0,1 a warstwy nie uległy uszkodzeniom. Bardzo słabą adhezją do podłoża odznaczała się warstwa o grubości 200nm. Tarciu towarzyszyła intensywna emisja sygnałów akustycznych.