Modelowanie wpływu parametrów procesu osadzania powłok na właściwości warstw

W artykule przedstawiono problemy modelowania wybranych właściwości warstw, otrzymywanych w procesach osadzania powłok metodami PAPVD. Analizie zostały poddane powłoki nanoszone z wykorzystaniem dwóch różnych komercyjnych urządzeń. Technika modelowania została zastosowana w celu opracowania modeli, pozwalających na prognozowanie właściwości warstw na podstawie parametrów procesu osadzania. W procesie modelowania, z zastosowaniem metody sztucznych sieci neuronowych, zostały wykorzystane zbiory danych z eksperymentów badawczych i procesów technologicznych. Przeprowadzone badania pozwoliły na opracowanie modeli tylko dla niektórych z analizowanych charakterystyk, głównie ze względu na występujące niedostatki w zbiorach danych. Wpłynęło to zasadniczo na organicznie możliwości opracowania modeli. Należy jednak podkreślić, że uzyskane w trakcie badań wyniki uzasadniają zastosowanie sieci neuronowych do opisu badanych procesów i budowy modeli prognostycznych.

Some of the properties of coatings deposited with the use of PAPVD methods were described. The research concerns coatings deposited on two different commercial devices. The modelling technique was applied in order to model development that enables the prediction of layer properties based on the deposition parameters. In this research, the method of artificial neural network was applied for modelling, and data from both research experiments and technological processes were used. As the results of modelling show, only some characteristics were well described by models. That problem mainly appeared because of data shortage causing a limitation in modelling. However, research results justify neural network application for describing the analysed processes and the development of prediction models for coating properties.