The structure and application of a test stand for a PVD technology research control system

The construction of technological test stands is connected with the problem of the proper determination of the structure of the stands to enable the execution of technological processes with different types of instruments and devices. The article presents a test stand for Physical Vapour Deposition (PVD) technological processes. The configurability of the stand was achieved thanks to the modular structure of the stand and the use of appropriate software and hardware solutions. The authors present examples of the utilisation of the structure of the stand for the modernisation of existing technological devices and the development of new ones.

Budowa technologicznych stanowisk badawczych przeznaczonych do prac rozwijających nowe technologie wiąże się z problemem określenia właściwej struktury stanowiska, umożliwiającej realizację procesu z odpowiednim oprzyrządowaniem lub realizację różnych procesów z wybranymi zestawami oprzyrządowania. W artykule przedstawiono stanowisko do badań procesów technologii Physical Vapour Deposition (PVD). Możliwość rekonfiguracji stanowiska uzyskano poprzez zastosowanie modułowej struktury stanowiska oraz odpowiednich rozwiązań systemu sterowania odnoszących się do warstwy sprzętowej i programowej. Przedstawiono przykłady wykorzystania struktury stanowiska do modernizacji istniejących i budowy nowych urządzeń technologicznych.