Projekt modułowego tygla wielopozycyjnego przeznaczonego do odparowywania materiałów metodą EB-PVD

W artykule przedstawiono problemy dotyczące wykorzystania metody EB-PVD (electron beam physical vapour deposition) do odparowywania materiałów o różnych właściwościach cieplnych, w tym: różnych współczynnikach przewodności cieplnej, różnych temperaturach topnienia i parowania. Opisano proces odparowania materiału wiązką elektronową, a także przedstawiono rozwiązania techniczne tygli i urządzeń, umożliwiające wytwarzanie powłok złożonych metodą EB-PVD. Autorzy zaprezentowali nowatorski projekt modułowego tygla wielopozycyjnego, który materiałom o różnych właściwościach cieplnych zapewnia różną intensywność chłodzenia. Umożliwia to efektywne odparowanie różnych materiałów na tym samym etapie procesu technologicznego, co jest podstawą do komponowania powłok złożonych, tj. wieloskładnikowych, kompozytowych i wielowarstwowych.

The article presents problems concerning the use of the EB-PVD method (electron beam physical vapour deposition) for the evaporation of materials with different thermal properties including different coefficients of thermal conductivity, and different melting points and evaporation temperatures. The evaporation process of material by electron beam is described and the technical solutions for crucibles and devices that enable the production of composite coatings by EB-PVD are presented. The authors present an innovative design of a multi-position modular crucible that provides different cooling intensities for materials with different thermal properties. This enables the efficient evaporation of various materials in the same technological process, which is essential for composing compound coatings, i.e. multi-component, composite and multi-layer.