Modułowe stanowisko badawcze do procesów PVD pozwalające na wdrażanie nowatorskich technologii inżynierii powierzchni

W artykule przedstawiona została koncepcja budowy modułowego stanowiska badawczego do prowadzenia i wdrażania innowacyjnych technologii PVD w inżynierii powierzchni. Opracowane hybrydowe, wielofunkcyjne stanowisko badawcze pozwoli na realizację unikatowych technologii inżynierii powierzchni. Podstawę opracowanego stanowiska badawczego stanowi unikatowa komora próżniowa. Charakterystyczną cechą zaprojektowanej komory procesowej jest rozmieszczenie otworów technologicznych pozwalające na wytworzenie złożonej plazmy w ramach możliwości jednoczesnej pracy różnych rodzajów źródeł plazmy, których rozmieszczenie geometryczne pozwala na ich wzajemne działanie w centralnej przestrzeni komory. Innowacyjnym elementem opracowanego stanowiska technologicznego jest specjalistyczny moduł "load-lock" pozwalający na umieszczanie i wyjmowanie substratów bez konieczności przerywania procesu technologicznego. Ważnym elementem stanowiska będzie układ do analizy spektralnej plazmy i wykorzystania do sterowania procesem jej wytwarzania. Modułowa budowa stanowiska pozwoli na wygodną rekonfigurację na potrzeby wdrażanych nowych technologii.

The article presents the concept of modular construction of the test stand to lead and implement innovative PVD technology in surface engineering. Developed hybrid, multifunctional test stand will allow implement a unique surface engineering technology. The basis of the developed test stand is an unique vacuum chamber. A characteristic feature of the vacuum chamber is designed arrangement of vacuum flange enabling produce a complex plasma by simultaneous operation of different types of plasma sources. Their geometric arrangement allows their mutual action in the central area of the chamber. Innovative element of the developed test stand is a specialized load lock module allowing the placement and removal of substrates without interrupting the process. An important element of the stand will be a system for spectral analysis of plasma and use this analysis to control the plasma generation process. Modular design allows the user to conveniently reconfigure the stand for new technologies implementation.