Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

New Approach to Non-Volatile Metal Ion Production Using Plasma Ion Source with Internal Evaporator

Tytuł:
New Approach to Non-Volatile Metal Ion Production Using Plasma Ion Source with Internal Evaporator
Autorzy:
Turek, Marcin
Droździel, Andrzej
Pyszniak, Krzysztof
Filiks, Janusz
Węgierek, Paweł
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/2206283.pdf
Data publikacji:
2022
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
ion sources
ion implantation
ion beams
Źródło:
Advances in Science and Technology. Research Journal; 2022, 16, 5; 20--27
2299-8624
Język:
angielski
Prawa:
CC BY: Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
  Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
A new approach to application the internal evaporator in an arc discharge ion source is presented, namely a crucible with a plug made of feeding substance. This solution is suitable especially for high-melting point metallic feeding substances. The ion source was tested using Ni and Cr. Basic ion source characteristics, i.e. dependences of ion current and discharge voltage on discharge and filament currents as well as on the external magnetic field flux density are shown and discussed in order to find optimal working conditions. The maximal ion currents were 18 μA for Ni+ and 38μA for Cr+. The stability of the ion current was also tested. It was proven that ion source is able to provide intense ion beam current long enough to perform irradiations with the fluence of ~5×1015 cm-2 confirming the usefulness of the design for ion implantation purposes.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies