Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Thermal Desorption of Argon Implanted into Gallium Arsenide

Tytuł:
Thermal Desorption of Argon Implanted into Gallium Arsenide
Autorzy:
Turek, Marcin
Droździel, Andrzej
Pyszniak, Krzysztof
Węgierek, Paweł
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/2201837.pdf
Data publikacji:
2022
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
thermal desorption spectroscopy
gallium arsenide
ion implantation
Źródło:
Advances in Science and Technology. Research Journal; 2022, 16, 4; 318--326
2299-8624
Język:
angielski
Prawa:
CC BY: Creative Commons Uznanie autorstwa 4.0
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
  Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
Thermal desorption of Ar implanted with energies 150 keV and 100 keV with fluence 1×10^16 cm^-2 into GaAs is considered. A sudden release of Ar is observed in temperature range 1100 -1180 K as a single narrow peak in TDS (Thermal Desorption Spectroscopy) spectra. This is accompanied by a strong background signal from atmospheric Ar trapped in various parts of the spectrometer. Desorption peak shift analysis allows estimation of desorption activation energy values - these are 3.6 eV and 2.5 eV for implantation energies 150 keV and 100 keV, respectively. These results are comparable to that measured for Ar implanted into germanium target.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies