Concept of Electron Beam Physical Vapour Deposition test stand with specific functional properties

EB-PVD technology is currently the subject of intense material engineering investigations, because its application enables the procurement of specific functional materials, especially materials with increased antiwear properties. The efficiency of such tests can be significantly increased by the application of test stands, allowing for the realisation of investigations on a wide range of materials with an easy selection and alteration of process parameters and the application of various methods of additional plasma ionisation. The article presents the concept of such a stand that assumes the inclusion of an electron gun into the test stand itself. Additionally, the conditions of the integration of this element with the test stand are shown. The inclusion of the gun does not change the functionality and modularity of the stand.

Technologia fizycznego osadzania z fazy gazowej z wykorzystaniem wiązki elektronowej (EB-PVD), dzięki uzyskiwaniu różnorodnych materiałów funkcjonalnych, o zwiększonych właściwościach w szczególności przeciwzużyciowych, jest przedmiotem intensywnych badań inżynierii materiałowej. Efektywność takich badań może być zwiększona poprzez wykorzystanie odpowiednich stanowisk umożliwiających prowadzenie prac z szerokim zakresem materiałów, łatwym doborem i zmianą parametrów procesowych, stosowaniem różnych metod dodatkowej jonizacji plazmy. W artykule przedstawiono koncepcję budowy takiego stanowiska. Zakłada ona włączenie wyrzutni elektronowej do stanowiska badawczego technologii PVD. Przedstawiono warunki integracji tego elementu ze stanowiskiem. Dołączenie wyrzutni zachowuje dotychczasową funkcjonalność i modułowość stanowiska oraz zapewnia uzyskanie specyficznych cech użytkowych dających możliwość powtarzalnej produkcji materiałów komercyjnych oraz prowadzenia prac badawczo-rozwojowych.