Ocena dokładności pomiarów w mikrotechnologiach materiałowych

Pomiar różnorodnych wielkości fizycznych, określających cechy materiałowe elementów, podlegających obróbce przestrzennej lub modyfikacji w wyniku oddziaływania wiązki laserowej jest trudny ze względu na mikroskopijne wymiary elementów finalnych. W artykule omówiono wybrane zagadnienia dokładności pomiarów w trakcie opracowywania nowej technologii w skali mikrometrowej (pomiary parametrów wiązki laserowej, określania właściwości strukturalnych i mikrotwardości jako wybranej cechy funkcjonalnej).

Majority of material technologies making use of a laser beam are micro-technologies in micrometer- or even nanoscale. Such technological processes, considering that the volume of materials undergoing modification or synthesis as a result of laser treatment is extreme small, are very difficult to control in real time ("on line"). Therefore, proper elaboration of the microtechnology in order to prevent a measurement of large number of parameters during its multiple reproduction is the task of great importance. Direct use of measuring methods for macroscopic material objects is not acceptable. Generally, there are not many sophisticated measuring methods and systems for micro- or nanoscale. Problems of measurement accuracy are discussed in the paper. The authors tried to solve them during their research at different stages of new laser microtechnologies. The presented issues include measurements of selected laser beam parameters, structural evaluation, among other, electron microanalysis and some functional properties of elements produced by laser technology.