Analiza topografii powierzchni dyfrakcyjnych elementów optycznych z wykorzystaniem interferometrii światła białego

W artykule przedstawiono możliwości oceny i analizy topografii powierzchni dyfrakcyjnych elementów optycznych za pomocą jednej z metod interferometrii światła białego. W badaniach wykorzystano próbkę zawierającą 8 elementów dyfrakcyjnych generujących wzory optyczne o kształtach linii, zbioru linii (poziomych i pionowych) oraz krzyża. Elementy oceniano pod względem geometrii ukształtowania powierzchni za pomocą systemu pomiarowego Talysurf CCI 6000 firmy Taylor Hobson. Zarejestrowane dane pomiarowe analizowano korzystając z oprogramowania Talymap Platinum. Wyniki badań potwierdziły dużą przydatność metody pomiarowej, jak i zastosowanego urządzenia w ocenie tego typu powierzchni posiadających złożoną, wielowarstwową strukturę.

The paper presents the method based on white light interferometry - SBI (Scanning Broadband Interferometry). SBI uses a correlation algorithm to find the coherence peak and phase position of an interference pattern produced by a selectable bandwidth light source. It provides both high resolution and excellent sensitivity of the returning light. This method can be applied to ultra precision assessment of wide range of surfaces. Measurements of different types of materials, including glass, metal, photo resist, polymer, liquid inks are also possible to be taken. In experimental investigations there was assessed the surface topography of DOEs (Diffractive Optical Elements). A sample containing 8 diffractive optical elements generating optical patterns in the form of single line, multi-lines and crosshair was used for measurements. The surfaces of the all DOEs were measured by an advanced measurement system Talysurf CCI 6000 produced by Taylor Hobson. The measurement data recorded were analysed by Talymap Platinum software. The investigation results confirmed the usefulness both of the measuring method and the applied measurement system for assessment of this type of multilayered surfaces.