Model przetwornika elektromagnetycznego zastosowanego w krzemowym czujniku drgań mechanicznych

W zastosowanej konstrukcji przetwornika na powierzchni cienkiej belki krzemowej umieszczono uzwojenie w postaci cewki płaskiej. Płynący przez przetwornik prąd elektryczny wytwarza pole magnetyczne, które oddziałuje na umieszczony w pobliżu hallotron. Drgania obiektu wywołują zmianę położenia przetwornika względem hallotronu, co powoduje zmianę sygnału wyjściowego. W pracy przebadano wpływ parametrów konstrukcyjnych przetwornika na wartość indukcji pola magnetycznego w hallotronie. Do analizy rozkładu pola magnetycznego zastosowano metodę elementów skończonych (program ANSYS).

The construction of the rectangular silicon beam with mass and the by electromagnetic transducer was described. In the silicon microsystem aluminium electrodes pattern on the beam surface was applied. The current flow by electromagnetic transducer produce magnetic field. Transducer magnetic field influence on Hall sensor. The beam vibrations caused change distance between transducer position by Hall sensor. The analysis of distribution magnetic field was presented. The method of the finite elements was applied to the analysis of the microsystem. The results for the electromagnetic transducer, which were calculated by means of ANSYS programme are presented and discussed.