Analizator do spektroskopii wysokoimpedancyjnej z wykorzystaniem CPS

W artykule przedstawiono opracowany i wdrożony do produkcji seryjnej analizator do spektroskopii wysokoimpedancyjnej. Dzięki zastosowaniu obwodu wejściowego w postaci sondy pomiarowej (2 i 3 zaciskowej) analizator umożliwia pomiary w zakresie 100 Ω < |Zx| < 100 GΩ. Do wyznaczania składowych ortogonalnych sygnałów pomiarowych wykorzystano technikę cyfrowego przetwarzania sygnałów. Pozwoliła ona na pomiary w szerokim zakresie częstotliwości od bardzo niskich 100 ΜHz do 1 MHz. Analiza rzeczywistych parametrów sond, umożliwiła wyznaczenie zależności korygujących wyniki pomiaru, które zaimplementowane w oprogramowaniu analizatora, zwiększyły dokładność pomiaru impedancji.

The paper presents the developed high impedance spectroscopy analyzer which was putted into production. The analyzer allows to measure in the range of 100Ω < |Zx| < 100 GΩ thanks to the usage of the input circuitry in form of the measurement probe (2 and 3 terminal). The digital signal processing technique was used to determine orthogonal parts of the measurement signals. This allows measuring in a wide frequency range from very low 100 ΜHz up to 1 MHz. The analysis of the real-life parameters of the probes made possible evaluation of correction formulas which were implemented in analyzer software and increased accuracy of the impedance measurement.